ミニマルファブ用ALD装置向け高速応答ガスパルス制御機構の開発

株式会社和泉テック は宮城県に本社・事業所を置き、ものづくり補助金に採択されました。 採択された事業計画は「ミニマルファブ用ALD装置向け高速応答ガスパルス制御機構の開発」です。

出典・一次情報: ものづくり補助金 公式サイト