半導体洗浄装置向け超高性能オゾン発生放電体の開発および製造販売

中島産業株式会社事業再構築補助金第10次愛知県交付額 5,667万円根拠(推定の対応)

公表情報公表資料の事業概要(採択・交付決定の公表資料に記載されたもの)です。 AIによる生成ではありません。出典: 中小企業庁「事業再構築補助金採択案件一覧【事業計画書の概要】」詳しく

世界で当社のみが持つ特殊溶射技術により開発された「オゾン発生無声放電体」の技術を用いて、「半導体洗浄装置向け超高性能オゾン発生放電体」の開発および製造販売を実施し、半導体製造工程の省エネ化・環境負荷低減を実現する取組みである。

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気体に高い電圧をかけて放電させ、オゾンを作る装置は、電極と誘電の材料、隙間の寸法で効率が変わる。一般に、放電の熱が上がるとオゾンは壊れるため、冷やす経路の設計が性能の要点になる。一般には、原料の気体に含まれる水分が電極を傷めるので、乾かす前処理が寿命に効く。半導体の洗浄へ向ける用途では、混ざる不純物の少なさと出力の安定が求められ、部材の材質と作り方の管理が厳しくなる。計画の表題からは試作から起こす型と見てよい。

この交付額の位置づけ(当サイトの保有データ)

帯は、この回次で当サイトが交付額まで把握している 2,902件の分布です。目盛りは対数です。うち交付額 0円の 3件は目盛りに置けないため帯の外です。

この事例の交付額 5,667万円は、当サイトが交付額まで把握している同じ回次の 2,902件のなかで 158位です。この回次で当サイトが交付額まで把握している事例の中央値は 1,497万円で、この事例はそれを上回ります。この回次の半数は 944万円〜2,000万円に収まり、この事例はその範囲より上にあります。愛知県に限ると、当サイトが交付額まで把握しているこの制度の事例は 1,039件で、この事例はそのなかで 101位です。

この回次について当サイトが収録しているのは 3,678件で、うち交付額まで把握しているのは 2,902件です。これらは 47 の都道府県にわたり、最も多いのは東京都の 533件です。

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この金額の根拠

金額の出典(交付決定額): 経済産業省 gBizINFO の補助金情報当サイトはこの資料のURLを記録していません。提供元のサイト
計画名の出典: 中小企業庁「事業再構築補助金採択案件一覧」当サイトの取得日 2026-08-31
対応付け: 計画名と金額は別の資料から来ています。採択日と交付決定日のどちらかが資料に無いため、日付では確かめていません。同じ事業者・同じ制度のなかで決まった順序で組にした、当サイトの推定です。

交付が決まった時点の額です。実際に支払われた額とは限りません。

出典・一次情報: 事業再構築補助金公式サイト