パワ-半導体ウェハ製造装置用真空部品事業への進出

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ステンレスのフランヂの製造と販売を事業に置く。フランジは管と管、あるいは管と機器をつなぐ鍔状の継ぎ手で、間に挟むガスケットを締め付けて漏れを止める部品である。第8次の計画名は、パワー半導体のウェハを作る装置に使う真空部品の事業への進出を掲げる。継ぎ目から漏らさないという一点で、扱ってきた品目と行き先が正面から重なる。

真空の装置では、外から空気が入り込む量が室の中の圧力を決めるので、継ぎ目の面の粗さと平らさがそのまま働きになる。ステンレスは選ばれやすい材料だが、表面へ残った加工の傷や、内側へ吸い込まれた気体が後から出てくることが問題になり、洗い方と仕上げの当て方が問われる。溶接の内側に微かな穴が残るだけで、真空を引く時間が延びる。一般に、寸法の許しよりも、面と清浄さの管理のほうが先に壁になる。