薬液不使用の洗浄機を開発、環境・コスト重視の半導体業界に進出

公表情報公表資料の事業概要(採択・交付決定の公表資料に記載されたもの)です。 AIによる生成ではありません。 出典: 中小企業庁「事業再構築補助金 採択案件一覧【事業計画書の概要】」(制度の公式ページ。該当資料そのものではありません)詳しく

半導体製造工程に特化した薬液を使わない洗浄機の開発・販売。補助事業を活用し、コアの課題としてレジスト洗浄用のオゾン水装置のデモ機の開発製造に取組みます。