汎用型圧力勾配スパッタ装置の開発と内製化体制の構築

ケニックス株式会社事業再構築補助金第10次兵庫県交付額 1,999万円根拠(推定の対応)

公表情報公表資料の事業概要(採択・交付決定の公表資料に記載されたもの)です。 AIによる生成ではありません。出典: 中小企業庁「事業再構築補助金採択案件一覧【事業計画書の概要】」詳しく

当社の独自技術である「圧力勾配スパッタ技術を取り入れた「汎用型圧力勾配スパッタ装置」を開発し、内製化体制を構築する。技術優位性と競争力を確保して既存の半導体先端研究分野以外の広範囲な市場に進出する。

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取扱品目の頁が連ねるのは、真空コンポーネントや抵抗加熱源、石英反応槽、静電チャックといった部材と、それらを組んだ装置の並びだ。スパッタリング装置の頁は、圧力勾配式スパッタ装置について、高真空域での成膜ができ、低ダメージの薄膜を高いレートで作れるとし、デポダウン方式やロードロック室の増設にも触れる。計画名がここで狙うのは、その一品ずつの組み方を、広く使える型と自前の作り方へ移す線だ。一般に、この方式は真空の中で的を叩き、飛び出した粒を基板へ積む。場所ごとに圧力を変える構えは飛んでくる粒の勢いを和らげられる反面、部屋の仕切りと排気の取り回しが込み入る。叩く強さと圧力の釣り合いが崩れると、膜の付き方も基板の温まり方も揃わなくなる。型を決めれば部品を揃えられ、据え付けの手順も固まる。

出典: ケニックス株式会社（公式サイト） — ケニックス株式会社 — /outline/index.html(事業者の公表情報) / ケニックス株式会社（公式サイト） — ケニックス株式会社 — /product/spattaring.html(事業者の公表情報)

この交付額の位置づけ(当サイトの保有データ)

帯は、この回次で当サイトが交付額まで把握している 2,902件の分布です。目盛りは対数です。うち交付額 0円の 3件は目盛りに置けないため帯の外です。

この事例の交付額 1,999万円は、当サイトが交付額まで把握している同じ回次の 2,902件のなかで 942位です。この回次で当サイトが交付額まで把握している事例の中央値は 1,497万円で、この事例はそれを上回ります。この回次の半数は 944万円〜2,000万円に収まり、この事例はその範囲の中にあります。兵庫県に限ると、当サイトが交付額まで把握しているこの制度の事例は 509件で、この事例はそのなかで 199位です。

この回次について当サイトが収録しているのは 3,678件で、うち交付額まで把握しているのは 2,902件です。これらは 47 の都道府県にわたり、最も多いのは東京都の 533件です。

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この金額の根拠

金額の出典(交付決定額): 経済産業省 gBizINFO の補助金情報当サイトはこの資料のURLを記録していません。提供元のサイト
計画名の出典: 中小企業庁「事業再構築補助金採択案件一覧」当サイトの取得日 2026-08-31
対応付け: 計画名と金額は別の資料から来ています。採択日と交付決定日のどちらかが資料に無いため、日付では確かめていません。同じ事業者・同じ制度のなかで決まった順序で組にした、当サイトの推定です。

交付が決まった時点の額です。実際に支払われた額とは限りません。

出典・一次情報: 事業再構築補助金公式サイト