最先端半導体製造装置に資するクリティカルパーツの製法革新

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手がけると掲げるのは製造装置と精密加工部品の二つで、装置の側には製薬産業や菓子・食品産業、電子・通信産業を並べる。精密部品の側は、装置技術と共に追ってきた精密加工技術をもとに接合や接着、表面処理の技術を重ね、半導体の製造に欠かせない装置の難しい部品を出すとし、品目に真空チャンバーとライナーを挙げる。試作から少量多品種、量産までを同じ枠で受けるとも書く。計画名は、その先端の装置に向けたクリティカルパーツの作り方を組み替えると掲げる。装置を組む側と部品を削る側に同時に身を置く点が、この組み替えの下敷きになる。一般に、真空の容れ物は内側の表面の状態がそのまま処理の質へ出る。溶接の裏に残った巣や細かい凹凸は気体を溜め込み、洗っても抜けきらないので、削る精度だけでなく仕上げと洗いまで問われる。

出典: 葵精機株式会社（公式サイト） — 葵精機株式会社 – 神奈川県川崎市にある製造装置・精密加工部品の製造会社です。(事業者の公表情報) / 葵精機株式会社（公式サイト） — 精密部品事業>精密加工部品 – 葵精機株式会社(事業者の公表情報)