脱炭素に向けパワー半導体製造装置特殊高精度プーリ製造に取組む

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脱炭素へ向けたエネルギー使用低減に資する新パワー半導体が求められている。計画名が置くのは、そこで要請されたパワー半導体製造装置特殊高精度プーリの製造で、評価されたのは特殊プーリ製造技術だと概要は経緯を並べる。本計画に取り組むことで社会の脱炭素に貢献する、という結びまでが概要にある。

プーリは帯を掛けて回す力を渡す輪で、溝の形と振れの小ささが伝わり方を決める。半導体を作る装置の中では板を運ぶ機構や回す機構に組み込まれ、わずかな振れがそのまま位置のずれになって表れる。真円からの外れや面の振れを詰めるには、削る段の押さえ方に加えて、熱で伸びた分が戻るのを待つ段取りが要る。粉を出さないことも条件に入るので、材と表面の処理は普通の動力伝達の輪とは別に選ぶことになる。