放電加工技術による真空チャンバー加工等半導体製造装置分野への進出
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当社は形彫放電加工、ワイヤーカット放電加工を得意とする。本事業は、コロナ禍以降に成長性が期待できる半導体製造装置分野の真空チャンバー加工等を、高性能中型形彫放電加工機を用いて製造する新分野展開事業である。
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型彫放電加工を、電極と材料の間に電圧をかけて放電を起こし、その熱で材料を熔融する加工だと説く頁がある。導通性の金属なら超硬や焼入れ材といった高硬度材料を削れ、エンドミルでは角にRがついてしまう四角穴や六角穴の角出しができ、非接触加工だからワークへの負荷が低く、切削では変形する薄板や、金属組織を変えたくない試験片にも向くという。電気の強弱と加工中に出るスラッジの排出の良し悪しで、速さもクリアランスも面粗さも動くとも書く。材質の列にはインコネルまで並ぶ。向きを変える先が、真空チャンバーの加工を含む装置の分野だ。一般に、真空を保つ容れ物では、継ぎ目の面をどれだけ平らに仕上げられるかが漏れの量を決める。内側に残る傷や凹みはガスを溜め込む場所になるので、削った跡の始末も問われる。硬い材でも形を彫れる手段は、その細かな部分で効いてくる。
出典: 有限会社太陽放電工業(公式サイト) — 会社概要 | 太陽放電工業(事業者の公表情報) / 有限会社太陽放電工業(公式サイト) — 放電加工 | 太陽放電工業(事業者の公表情報)
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